Device and method for processing substrate

WO03032380 Art A1 17. April 2003

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03032380
Aktenzeichen: EP02800746
Anmeldetag: 2. Oktober 2002
Veröffentlichung: 17. April 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/306H01L21/304C23C18/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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