Method of forming multilayer thin film and device therefor

WO03033760 Art A1 24. April 2003

Anmelder: Acbtec Co., Ltd., Rigaku Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03033760
Aktenzeichen: EP02728060
Anmeldetag: 15. Mai 2002
Veröffentlichung: 24. April 2003
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/54G02B1/10G02B5/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Acbtec Co., Ltd.
Rigaku Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Rigaku

Rigaku ist ein japanischer Hersteller wissenschaftlicher Analysegeräte, insbesondere für Röntgendiffraktion und Röntgenfluoreszenz. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Elektrotechnik-Anmeldungen. Der Anmeldezeitraum reicht von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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