Surface shape measuring method and device therefor

WO03036229 Art A1 1. Mai 2003

Anmelder: TORAY ENGINEERING CO., LTD., Yugen Kaisha Yamaguchi TLO 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03036229
Aktenzeichen: EP01980913
Anmeldetag: 25. Oktober 2001
Veröffentlichung: 1. Mai 2003
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/24G01B9/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TORAY ENGINEERING CO., LTD.
Yugen Kaisha Yamaguchi TLO
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Toray Engineering

Toray Engineering ist eine japanische Tochtergesellschaft des Toray-Konzerns und stellt Fertigungsanlagen für Halbleiter- und Displayproduktion her. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Verfahrens- und Trenntechnik, ergänzt um Elektronik. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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