Ionenimplantierung-Vorrichtungen und -Verfahren mit einer Stromabwärtiger Gasquelle

WO03036678 Art A2 1. Mai 2003

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03036678
Aktenzeichen: EP02784296
Anmeldetag: 25. Oktober 2002
Veröffentlichung: 1. Mai 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/317H01J37/02H01J37/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Varian Semiconductor Equipment Associates Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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