Method and apparatus for dicing a semiconductor wafer

WO03036712 Art A1 1. Mai 2003

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO03036712
Aktenzeichen
EP02802102
Anmeldetag
18. September 2002
Veröffentlichung
1. Mai 2003
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/78
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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