Man-machine interface for monitoring and controlling a process

WO03038729 Art A1 8. Mai 2003

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03038729
Aktenzeichen: EP02773708
Anmeldetag: 31. Oktober 2002
Veröffentlichung: 8. Mai 2003
Rechtsraum: WO
IPC: G06F19/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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