Konfigurierbare Integrierte Mehrkammer-Reinigungsvorrichtung zur Nass-Trocken-Behandlung von Einzelnen Substraten

WO03038870 Art A1 8. Mai 2003

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03038870
Aktenzeichen: EP02778390
Anmeldetag: 30. September 2002
Veröffentlichung: 8. Mai 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00B08B3/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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