Substrate processing apparatus and method

WO03040430 Art A1 15. Mai 2003

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03040430
Aktenzeichen: EP02780022
Anmeldetag: 6. November 2002
Veröffentlichung: 15. Mai 2003
Rechtsraum: WO
IPC: C23C18/31H01L21/288

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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