Zone plate, measuring method using it, and production method for projection optical system

WO03040650 Art A1 15. Mai 2003

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03040650
Aktenzeichen: EP02780037
Anmeldetag: 7. November 2002
Veröffentlichung: 15. Mai 2003
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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