Zweistufiges Ätzverfahren zur Entfernung einer Hartmaske

WO03041150 Art A2 15. Mai 2003

Anmelder: ADVANCED MICRO DEVICES, INC., ADVANCED MICRO DEVICES INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03041150
Aktenzeichen: EP02786694
Anmeldetag: 6. November 2002
Veröffentlichung: 15. Mai 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/311H01L21/316H01L21/314H01L21/8247

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ADVANCED MICRO DEVICES, INC.
ADVANCED MICRO DEVICES INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Advanced Micro Devices

US-amerikanischer Halbleiterhersteller (AMD) mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien, bekannt für Prozessoren, Grafikchips und Server-CPUs.

1.708 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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