Schicht zum Oberflächenschutz Beim Schleifen der Rückseite eines Halbleiterplättchens und Verfahren zur Herstellung von Halbleiterplättchen

WO03043076 Art A2 22. Mai 2003

Anmelder: Lintec Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO03043076
Aktenzeichen
EP02780016
Anmeldetag
6. November 2002
Veröffentlichung
22. Mai 2003
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/68H01L21/304B24B7/22
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Lintec Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Lintec

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