Bevorzugte Eckenrundung von Grabenstrukturen mittels Oxidation nach Füllung

WO03043078 Art A2 22. Mai 2003

Anmelder: ADVANCED MICRO DEVICES, INC., Advanced Micro Devices, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO03043078
Aktenzeichen
EP02778254
Anmeldetag
12. September 2002
Veröffentlichung
22. Mai 2003
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/762
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ADVANCED MICRO DEVICES, INC.
Advanced Micro Devices, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Advanced Micro Devices

US-amerikanischer Halbleiterhersteller (AMD) mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien, bekannt für Prozessoren, Grafikchips und Server-CPUs.

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