Methods of fabricating highly conductive regions in semiconductor substrates for radio frequency applications

WO03044863 Art A1 30. Mai 2003

Anmelder: The Regents of the University of California 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03044863
Aktenzeichen: EP02789736
Anmeldetag: 19. November 2002
Veröffentlichung: 30. Mai 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01L29/00H01L21/76

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Regents of the University of California
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of California

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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