Polierkissen, die Partikel aus einem Festen Kern und einer Polymer-Schale Enthalten

WO03045631 Art A1 5. Juni 2003

Anmelder: Cabot Microelectronics Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03045631
Aktenzeichen: EP02793958
Anmeldetag: 19. November 2002
Veröffentlichung: 5. Juni 2003
Rechtsraum: WO
IPC: B24B37/04B24D3/32B24D13/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cabot Microelectronics Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cabot Microelectronics

Cabot Microelectronics war ein US-amerikanischer Hersteller von Polierchemikalien für die Halbleiterfertigung und ist heute Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Halbleiterbauelemente, mit Bezug zur Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen bis 2019 betreffen unter anderem CMP-Zusammensetzungen für die Chip-Planarisierung.

290 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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