Verfahren zur Chemischen Gasphasenabscheidung von Schichten aus Siliciumnitrid, Siliziumoxynitrid oder Siliziumoxid

WO03046254 Art A1 5. Juni 2003

Anmelder: L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03046254
Aktenzeichen: EP02751473
Anmeldetag: 26. Juli 2002
Veröffentlichung: 5. Juni 2003
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/34C23C16/30C23C16/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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