Präzisions-Subpixel-Ausrichtungstechnik

WO03046528 Art A1 5. Juni 2003

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03046528
Aktenzeichen: EP01989124
Anmeldetag: 21. November 2001
Veröffentlichung: 5. Juni 2003
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/88G01N21/94G01N21/95G01N21/956

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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