Projection optical system, exposure device, and exposure method

WO03046634 Art A1 5. Juni 2003

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03046634
Aktenzeichen: EP02777928
Anmeldetag: 22. Oktober 2002
Veröffentlichung: 5. Juni 2003
Rechtsraum: WO
IPC: G02B13/24G02B13/14G02B1/02H01L21/027G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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