Verfahren zum Bestimmen von mindestens einer Kenngrösse, die für die Belauchtungswinkelverteilung einer der Beleuchtung eines Gegenstandes Dienenden Lichtquelle einer Projektionsbelichtungsanlage

WO03046663 Art A2 5. Juni 2003

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03046663
Aktenzeichen: EP02803808
Anmeldetag: 28. November 2002
Veröffentlichung: 5. Juni 2003
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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