Evaluating method and method for manufacturing exposure apparatus

WO03046962 Art A1 5. Juni 2003

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03046962
Aktenzeichen: EP02803924
Anmeldetag: 25. November 2002
Veröffentlichung: 5. Juni 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/20G01M11/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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