Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen, Abtragen oder Behandeln von Schichten auf einem Substrat

WO03048430 Art A1 12. Juni 2003

Anmelder: OSRAM Opto Semiconductors GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO03048430
Aktenzeichen
EP02804149
Anmeldetag
27. November 2002
Veröffentlichung
12. Juni 2003
Rechtsraum
WO
IPC
C30B25/14C23C16/455H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
OSRAM Opto Semiconductors GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 OSRAM Opto Semiconductors

Deutsches Unternehmen für optoelektronische Halbleiter mit Sitz in Regensburg, Tochtergesellschaft von OSRAM. Es entwickelt LEDs, Laserdioden und Sensoren für Beleuchtung, Automobil- und Consumer-Elektronik.

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