Method for forming fine resist pattern

WO03048865 Art A1 12. Juni 2003

Anmelder: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD., Samsung Electronics Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03048865
Aktenzeichen: EP02785998
Anmeldetag: 2. Dezember 2002
Veröffentlichung: 12. Juni 2003
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/40G03F7/039G03F7/004H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
Samsung Electronics Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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🇰🇷 Samsung Electronics

Südkoreanischer Elektronikkonzern und Teil der Samsung-Gruppe. Entwickelt und produziert Halbleiter, Speicherchips, Displays, Smartphones, Unterhaltungselektronik sowie Haushaltsgeräte für den globalen Markt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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