Electrostatic clampless holder module and cooling system

WO03049180 Art A1 12. Juni 2003

Anmelder: Toto Ltd., ANELVA CORPORATION, Choshu Industry Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03049180
Aktenzeichen: EP02781874
Anmeldetag: 3. Dezember 2002
Veröffentlichung: 12. Juni 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/68B22F3/24B22F3/17B21J5/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Toto Ltd.
ANELVA CORPORATION
Choshu Industry Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 TOTO

TOTO ist ein japanischer Hersteller von Sanitärkeramik und Badtechnik, bekannt für Toilettensysteme wie Washlet. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Straßen-, Wasser- und Tiefbau sowie Halbleiter- und Werkstofftechnik, ergänzt durch Haushalts- und Konsumgüter. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2026.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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