Diffraction optical device, refraction optical device, illuminating optical device, exposure system and exposure method

WO03050856 Art A1 19. Juni 2003

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03050856
Aktenzeichen: EP02786029
Anmeldetag: 4. Dezember 2002
Veröffentlichung: 19. Juni 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G02B27/18G02B5/18G02B13/00G02B19/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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