Method for lithographic processing on molecular monolayer and multilayer thin films

WO03050877 Art A1 19. Juni 2003

Anmelder: The Regents of the University of California 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03050877
Aktenzeichen: EP02799938
Anmeldetag: 11. Dezember 2002
Veröffentlichung: 19. Juni 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01L29/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Regents of the University of California
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of California

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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