Katadioptisches Reduktionsobjektiv

WO03052462 Art A2 26. Juni 2003

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03052462
Aktenzeichen: EP02792930
Anmeldetag: 7. Dezember 2002
Veröffentlichung: 26. Juni 2003
Rechtsraum: WO
IPC: G02B1/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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