Film forming device, and production method for optical member

WO03052468 Art A1 26. Juni 2003

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03052468
Aktenzeichen: EP02786111
Anmeldetag: 17. Dezember 2002
Veröffentlichung: 26. Juni 2003
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/28C23C14/54G01B11/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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