Nanolithographie durch Chemische Funktionalisierung

WO03053845 Art A2 3. Juli 2003

Anmelder: THE PENN STATE RESEARCH FOUNDATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO03053845
Aktenzeichen
EP02802920
Anmeldetag
19. August 2002
Veröffentlichung
3. Juli 2003
Rechtsraum
WO
IPC
B82B3/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
THE PENN STATE RESEARCH FOUNDATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Penn State Research Foundation

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