Parametric profiling using optical spectroscopic systems

WO03054475 Art A2 3. Juli 2003

Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03054475
Aktenzeichen: EP02796020
Anmeldetag: 19. Dezember 2002
Veröffentlichung: 3. Juli 2003
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/06G01B11/24G01B11/30G01N21/21H01L21/66G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: KLA-Tencor Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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