Rasterelektronenmikroskop-Anordnung und Methode zur Verwendung Derselben

WO03054909 Art A1 3. Juli 2003

Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03054909
Aktenzeichen: EP02790582
Anmeldetag: 16. Dezember 2002
Veröffentlichung: 3. Juli 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/28H01J37/18B23Q1/38

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FEI COMPANY
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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