Verfahren und Vorrichtung zum Lokal Dichten eines Vakuum-Mikrohohlraumes, Verfahren und Vorrichtungen zur Überwachung und Steuerung des Drucks, und Verfahren und Vorrichtung zur Nachstimmung der Resonanzfrequenz einer Innen Enthaltenen Mikrostruktur

WO03054925 Art A2 3. Juli 2003

Anmelder: THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF MICHIGAN 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03054925
Aktenzeichen: EP02803292
Anmeldetag: 23. Oktober 2002
Veröffentlichung: 3. Juli 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF MICHIGAN
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 The Regents of the University of Michigan

Leitungsgremium der University of Michigan in den USA, das als Patentanmelder für Erfindungen aus der universitären Forschung auftritt. Schwerpunkte sind Medizintechnik, Ingenieurwissenschaften und Life Sciences.

2.541 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von