Automatisches Kalibrierungsverfahren für einen Roboter zur Handhabung von Substratbehältern und Dummy Behälter für Dieses Verfahren

WO03054932 Art A1 3. Juli 2003

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03054932
Aktenzeichen: EP02795897
Anmeldetag: 18. Dezember 2002
Veröffentlichung: 3. Juli 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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