High-frequency power source and its control method, and plasma processor

WO03055286 Art A1 3. Juli 2003

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03055286
Aktenzeichen: EP02788777
Anmeldetag: 10. Dezember 2002
Veröffentlichung: 3. Juli 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/00H05H1/46H01L21/205H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von