Substrate processing apparatus and method

WO03056614 Art A1 10. Juli 2003

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03056614
Aktenzeichen: EP02805903
Anmeldetag: 26. Dezember 2002
Veröffentlichung: 10. Juli 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304H01L21/306B08B3/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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