Supercritical fluid cleaning of semiconductor substrates

WO03057811 Art A1 17. Juli 2003

Anmelder: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03057811
Aktenzeichen: EP02791416
Anmeldetag: 13. Dezember 2002
Veröffentlichung: 17. Juli 2003
Rechtsraum: WO
IPC: C11D1/02C11D3/43C11D3/44D06L1/02C25F3/12C25F3/30

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Advanced Technology Materials

Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

458 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik Textiltechnik

Vertreten von