Verfahren zum Bearbeiten ein Werkstück mit Laserstrahlflecksvergrösserung

WO03059568 Art A1 24. Juli 2003

Anmelder: ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03059568
Aktenzeichen: EP03710649
Anmeldetag: 10. Januar 2003
Veröffentlichung: 24. Juli 2003
Rechtsraum: WO
IPC: B23K26/38B23K26/08H05K3/00G05B19/39

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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