Chamber hardware design for titanium nitride atomic layer deposition

WO03060186 Art A1 24. Juli 2003

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03060186
Aktenzeichen: EP02806474
Anmeldetag: 20. Dezember 2002
Veröffentlichung: 24. Juli 2003
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/44C23C16/455C23C16/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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