Process chamber having component with yttrium-aluminum coating

WO03060187 Art A1 24. Juli 2003

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03060187
Aktenzeichen: EP02806501
Anmeldetag: 19. Dezember 2002
Veröffentlichung: 24. Juli 2003
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/44C23F4/00H01L21/00C23C14/48C23C30/00C25D11/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von