Reinigen von Prozessrückständen auf einem Komponent einer Prozesskammer
WO03061859
Art A1
31. Juli 2003
Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO03061859
- Aktenzeichen
- EP02780722
- Anmeldetag
- 20. November 2002
- Veröffentlichung
- 31. Juli 2003
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B08B3/04B08B3/08C23C16/44
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- APPLIED MATERIALS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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