Verfahren zur Bildung einer Dicken Mikrostrukturierten Oxidschicht und deren Verwendung in einem Bauelement

WO03062137 Art A2 31. Juli 2003

Anmelder: The Regents of The University of Michigan 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03062137
Aktenzeichen: EP03705812
Anmeldetag: 16. Januar 2003
Veröffentlichung: 31. Juli 2003
Rechtsraum: WO
IPC: B81C1/00B81B1/00B81B7/00H01L21/316H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Regents of The University of Michigan
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 The Regents of the University of Michigan

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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