Method of fabricating three-dimensional components using endpoint detection

WO03065411 Art A2 7. August 2003

Anmelder: The Regents of the University of California 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03065411
Aktenzeichen: EP03734960
Anmeldetag: 17. Januar 2003
Veröffentlichung: 7. August 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Regents of the University of California
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of California

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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