Verfahren und Vorrichtung zum Chemischen Mechanischen Polieren mit einer Wirbelstrom-Überwachungsanlage

WO03066284 Art A1 14. August 2003

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03066284
Aktenzeichen: EP03707768
Anmeldetag: 6. Februar 2003
Veröffentlichung: 14. August 2003
Rechtsraum: WO
IPC: B24B37/04B24B49/10B24B49/12B24D13/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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