Shearing interference measuring method and shearing interferometer, production method of projection optical system, projection optical system, and projection exposure system

WO03067182 Art A1 14. August 2003

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03067182
Aktenzeichen: EP03737446
Anmeldetag: 30. Januar 2003
Veröffentlichung: 14. August 2003
Rechtsraum: WO
IPC: G01B9/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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