Überwachung des Filmwachstums mittels Auger-Elektronen-Spektroskopie zur Bestimmung der Filmdicke und der Chemischen Zusammensetzung

WO03067234 Art A2 14. August 2003

Anmelder: Applied Materials, Inc., Applied Materials Israel Ltd. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03067234
Aktenzeichen: EP03737667
Anmeldetag: 4. Februar 2003
Veröffentlichung: 14. August 2003
Rechtsraum: WO
IPC: G01N23/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Applied Materials, Inc.
Applied Materials Israel Ltd.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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