Spiegelfacette F R einen Facettenspiegel

WO03067288 Art A1 14. August 2003

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03067288
Aktenzeichen: EP03702519
Anmeldetag: 24. Januar 2003
Veröffentlichung: 14. August 2003
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/08G02B7/185G02B5/09G02B7/198

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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