Vorrichtung und Verfahren zur Überwachung eines zu Geladenen Teilchen Empfindlichen Resists

WO03067652 Art A1 14. August 2003

Anmelder: Applied Materials Israel, Ltd., Applied Materials, Inc. 🇮🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03067652
Aktenzeichen: EP03705930
Anmeldetag: 27. Januar 2003
Veröffentlichung: 14. August 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66H01J37/28G01B15/04G01R31/305G01R31/265G01N23/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Applied Materials Israel, Ltd.
Applied Materials, Inc.
Land: 🇮🇱 Israel

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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