System for processing substrate and method for processing substrate

WO03069020 Art A1 21. August 2003

Anmelder: Hitachi Zosen Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03069020
Aktenzeichen: EP02711451
Anmeldetag: 12. Februar 2002
Veröffentlichung: 21. August 2003
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/44H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi Zosen Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi Zosen

Hitachi Zosen ist ein japanischer Schwermaschinenbaukonzern mit Wurzeln im Schiffbau, heute unter anderem in der Umwelt- und Energietechnik aktiv. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt um anorganische Chemie. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2024.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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