Method and apparatus for ion beam coating

WO03070998 Art A1 28. August 2003

Anmelder: University of Washington 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03070998
Aktenzeichen: EP03742853
Anmeldetag: 20. Februar 2003
Veröffentlichung: 28. August 2003
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/02C23C14/22C23C14/12H01J37/32B05D7/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: University of Washington
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Washington

Öffentliche Forschungsuniversität in Seattle, USA, mit umfangreicher Forschung in Medizin, Ingenieurwissenschaften und Informatik. Die Universität wurde 1861 gegründet.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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