Process for making photonic crystal circuits using an electron beam and ultraviolet lithography combination

WO03071587 Art A1 28. August 2003

Anmelder: UNIVERSITY OF DELAWARE, Prather, Dennis W., Murakowski, Janusz 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03071587
Aktenzeichen: EP03713493
Anmeldetag: 14. Februar 2003
Veröffentlichung: 28. August 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: UNIVERSITY OF DELAWARE
Prather, Dennis W.
Murakowski, Janusz
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Delaware

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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