Polishing apparatus and method for detecting foreign matter on polishing surface

WO03072306 Art A1 4. September 2003

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03072306
Aktenzeichen: EP03743054
Anmeldetag: 27. Februar 2003
Veröffentlichung: 4. September 2003
Rechtsraum: WO
IPC: B24B49/12H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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