Vorwärts- und Rückkopplungssteuerung bei der Halbleiterherstellung mittels Rasterelektronenmikroskopie und einer Fokussierten Ionenstrahlvorrichtung

WO03073481 Art A2 4. September 2003

Anmelder: Agere Systems Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03073481
Aktenzeichen: EP03743269
Anmeldetag: 24. Februar 2003
Veröffentlichung: 4. September 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Agere Systems Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Agere Systems

Agere Systems war ein US-amerikanischer Halbleiterhersteller, hervorgegangen aus Lucent Technologies und später in LSI Corporation aufgegangen. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Telekommunikation und Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Akustik- und Softwaretechnik. Die Anmeldungen stammen überwiegend aus den Jahren 2000 bis 2009.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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